原材料

1. 定制阀体:SS 316L、SS 316L VAR、SS 316LVIM-VAR

2. 标准符合 SEMI F20/HP/UHP

3. 优异的耐腐蚀性和抗氧化性

 

隔膜材料

1. Elgiloy 符合 AMS 5876 标准

2. 符合 ASTM B575 标准的哈氏合金

3. 高耐腐蚀性和优异的耐久性

原料把控、精益求精

1. 32+台自动铣床

2. 20+台自动数控车床

自动化设备采用全球一线品牌,确保产品加工技术和质量的稳定

自动化机械加工

1. ISO 5级洁净室;

2. 采用全进口电焊设备,达到半导体 SEMI 标准,高精度,高质量焊缝

3. 使用高纯度氩气,并且经过 0.1 微米的过滤器和气体纯化器, 确保气体纯度可达(99.99999%)

 

高精度焊接

1. 电解抛光和钝化工艺确保流体系统内表面光滑、耐腐蚀

2. 自动清洁

高稳定性UHP工艺

1. ISO 6级或5级/GB1000级或100级洁净室

2. UHP阀门专用生产线;

3. 高效一体式生产系统

4. 测试压力为0-6000psi,可完成高压测试、低压测试和流量测试

模块化装配

1. ISO 5级洁净室

2. 通过SEMI F1.INFICON进行氦气泄漏测试

3. 合格测试达标率高可检测泄漏率<1X10¯­­­­­­­­­­­­­ atm.cc/Sec-He的氦气泄漏检测仪

4. 99.99999%合格测试保证。

严控质量、零缺陷把关

技术优势

拥有符合SEMI 要求的工艺:EP、清洗、焊接技术

半导体级别的CNC加工技术

拥有完全自主的IGS Block及阀的加工技术

通过北方华创UHP级别14项特殊工艺认证

>20年的行业经验