上海聚克流体控制有限公司半导体气路系统零部件关键技术通过国家级科技成果评价

创建时间:2026-05-29 15:13
浏览量:0
收藏
首页2026    NEWS    NEWS2    上海聚克流体控制有限公司半导体气路系统零部件关键技术通过国家级科技成果评价

       近日,由国家工业信息安全发展研究中心组织并主持,在京召开上海聚克流体控制有限公司“半导体气路系统零部件关键技术的研发与产业化”科技成果评价会。项目顺利通过评审,综合评分91.57分,获得国家级权威认定。

       本次评价会由来自科研院所、高校及行业一线的多位权威专家组成评价委员会,严格依据国家科技成果评价规范开展评审工作。经专家组全面审查资料、质询与充分论证后一致认定:本项目整体技术达到国际先进水平,其中管路内壁电解抛光核心技术达到国际先进水平。关键性能指标达到或优于国际同类产品,已实现批量生产与头部客户应用,经济社会效益显著。  

       未来,上海聚克流体将持续深耕半导体高端零部件领域,坚持核心技术自主创新,加快成果推广与产业应用,以技术突破推动产业升级,助力我国半导体装备零部件国产化高质量发展。